Yamaguchi/Endo ITmag lab
Electromagnetic Theory Divistion
Dept. of EE/ECE, Tohoku University

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(工事中)
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オンチップアクティブ磁界プローブ
 

 オンチップアクティブ磁界プローブは、センサのコイルに鎖交する磁束を誘起電圧として検出します。この磁界プローブを用いることで集積回路の配線を流れる電流の可視化が可能となります。高密度集積化された集積回路上の磁界マッピングをおこなうために高空間分解能を持った磁界プローブが必要となっています。
 
             
オンチップアクティブ磁界プローブの作製

チップ構成
 ・先端にループコイルを配置
 ・微小出力を検出するために、
  コイルの直後にアンプを集積化

   
 
磁界プローブの実装
 ・ プリント基板(PCB)の先端にチップを実装


  
  
 
オンチップアンプの接続により、高空間分解能かつ高感度な磁界プローブとして期待
 

オンチップアクティブ磁界プローブを用いたLSI上の磁界マッピング 

 
オンチップアクティブ磁界プローブを用いたRFICチップ上の磁界測定により
電源グラウンド配線を流れる電流の可視化に成功





この研究は、総務省・電波利用料制度による電波資源拡大のための研究開発課題「高速・高品質な無線通信実現のためのICチップレベルの低ノイズ化技術の研究開発」(2010~2013年度)で実施したものです.


ワンチップ電源用マイクロインダクター 





 

Last updated on November 22th, 2012.
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