Yamaguchi/Endo ITmag lab
Electromagnetic Theory Divistion
Dept. of EE/ECE, Tohoku University

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(工事中)
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 RFトランシーバICでは,デジタル回路部から発生した電磁雑音がRFアナログ回路部の受信感度を低下させる深刻な問題が顕在化している.この電磁干渉(Electromagnetic Interferene)問題に関する対策として,チップ内で発生した電磁ノイズの発生源,伝搬経路,混入先の特定が重要である.その方法として,チップ内の微小な信号線や構成素子を流れる電流から発生する高周波近傍磁界を計測することは有効である.そこで我々のグループでは検出センサとして磁気力顕微鏡(Magnetic Force Microscope: MFM)探針に着目して,振幅(Amplitude modulated: AM)変調方式と,場のうなり(Beating field)方式による高周波磁気力顕微鏡の開発を行っている.
高周波磁気力顕微鏡

振幅(Amplitude modulated: AM)変調方式)
・ 搬送波の振幅を変調信号を加えて変調させた振幅(Amplitude modulated: AM)変調信号を高周波伝送線路に入力して,その線路上で発生する高周波近傍磁界をMFM探針を用いて計測する方法

   
 
場のうなり(Beating field)方式)
・ 周波数帯がわずかに異なる二つの正弦波信号を高周波伝送線路と励磁コイルとにそれぞれ入力し,その線路上でBeating fieldを発生させて,MFM探針を用いて高周波近傍磁界を計測する方法



  
  


高周波磁気力顕微鏡による主な測定例 
 
Beating field方式高周波磁気力顕微鏡に関して,
1 GHzの搬送波信号を伝送線路へ流すと,
その線路上で発生する近傍磁界を,軟磁性膜を
コーティングしたSi探針を用いて検出に成功




この写真は2014年5月にEMC 14/Tokyoおよび2014IEEE Trans. Magn.で報告したものである. 





ワンチップ電源用マイクロインダクター 





 

Last updated on October 10th, 2014.
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チップレベルノイズ抑制